無塵室內用品除了進出無塵室用的潔淨衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔淨衣之材料以洗後或使用其它處理後仍不會發塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質，另外經過磨擦不產生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙或無紡布制成無塵室設備工程，帽子材質則與潔淨衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發亦不能露出來。無塵室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質部分則采用與潔淨服相同材質即可，鞋子穿著時潔淨衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔淨衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂(Viny1)，在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔淨衣鞋帽子等須由專人管理，並定期做清洗，清洗須在無塵室內進行。並以純水配合清潔溶劑，並經約0、2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔淨度等級而定，在高潔淨區(CLASS1)為2~3天，其它區域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥後應立即密封。潔淨衣之置放場所亦須為無塵室，備用品或新品存放櫃內，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不鏽鋼材質，並需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環氧樹脂(Epxoy)加工以防表面發塵。工作桌最好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但HEPA若一定須使用高腳椅時，則要准備腳踏環。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質以選取擇不易摩損、不發塵易清潔之材質如鐵弗(Teflon)等，至於搬運車則以構造簡單為原則，並忌使用折迭式，材質仍采用不鏽鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運車時不得急速運推而以緩行為適。筆記本之紙質應采用無塵紙制成者，且不得使用影印數據，若非萬不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內或加覆背，同時不可於室內撕破或將紙揉成一團，避免造成環境之污染。如表5所示為不同紙張材質發塵量之比較。普通黑板及粉筆當然不能在高無塵室內使用，必要時可在更衣室等無塵室較低等級的區域使用白板。無塵室內不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不鏽鋼，且置於維修區中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，並定期清理。
真空吸塵器，其功能是在吸取無塵室內地板上、下及設備上附著之塵粒或液體以防止這些塵粒之再飛揚，以達到清潔的目的，由於真空吸塵器在作業時會有排氣產生，若未經處理，將嚴重影響無塵室之潔淨度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器，以除去塵埃。唯現今之高級無塵室均設有中央式吸塵系統HEPA，並於現場預留吸塵口，故一般之清潔過程均利用此中央系統，以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾，在使用中央式系統時，須注意排氣旦之控制避免使無塵室內之壓力降低至規定範圍以下。至於真空吸塵器因屬無塵室內專用，故不可移至室外使用，若不用時應置於較低等級的無塵室中，旦每次使用後應清掃吸管、收塵箱等吸氣系統。
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